Развитие отечественной микроэлектроники является безальтернативным условием технологического суверенитета России, заявил президент Российской академии наук Геннадий Красников.
По его словам, у российских ученых уже есть значимые и уникальные результаты, которые позволяют с оптимизмом оценивать перспективы отрасли.
Красников отметил, что в стране реализуется масштабная программа развития микроэлектронных технологий. Помимо производства интегральных схем, особое внимание уделяется созданию собственного электронного машиностроения — оборудования, поставки которого в Россию находятся под эмбарго.
Среди разработок — отечественный степпер для литографии, установки атомарно-слоевого и плазмохимического осаждения, эпитаксиальные системы для формирования нитрида галлия на кремнии, а также ионные имплантеры.
Отдельная программа посвящена особо чистым материалам, необходимым для круглосуточного функционирования производства. Красников подчеркнул, что важнейшим достижением стало создание российского фоторезиста на длину волны 193 нанометра — технологии, которой владеют лишь несколько стран в мире.
Среди других результатов он выделил разработки в области энергонезависимой памяти FeRAM на основе оксида гафния, новые архитектуры процессоров и нейропроцессоры, а также модернизацию производственных мощностей в Зеленограде.
